我國凈化工程行業，目前正值推廣階段。近些年來，各大城市主要陸續新建、改建，增設或改造了原有的凈化系統，這是我國經濟發展、科技進步和醫療衛生水平提高的反映。新建、改建凈化工程，改善生產環境，提高工作效率，是一件很慎重的工作。而不論什么行業對產品的質量，環境的潔凈都是越來越嚴格的，潔凈室凈化工程也將深入各行各業，這是發展趨勢。目前凈化工程行業涉及如下：

 
微電子 日用化妝品 印刷包裝 光學光電 化學 生物制藥 醫療器械 潔凈手術室 航空航天 涂裝涂料 文物庫房

電子行業：精密儀器 手機背光源 芯片生產、集成電路無塵室 汽車制造 磁盤制造車間等

食品行業：奶制品 果汁 鹽類 釀酒廠 肉類加工 烘焙面包房 檳榔廠 海鮮 調料包等

日用化妝品行業：紙類 護膚品 化妝品 日常洗衣用品等

印刷包裝行業：精密技術印刷廠 高檔禮品包裝 高檔煙酒、進口及高檔轎車等

光學光電行業：半導體激光器 led/lcd照明 液晶顯示 led芯片 納米加工 光學玻璃

紅外傳感器 激光雷達技術 發光二極管等 集成電路

化學行業：實驗室 鉛酸蓄電池  電容器 無線充電技術等 電鍍 塑料化工

生物制藥：制藥廠 無菌繁殖

醫療器械：醫療設備 手術室

文物庫房：博物館 文物房

涂裝涂料：納米功能涂料 建筑涂料涂裝 噴涂車間 家具烤漆房


一、安裝工程標準施工要求


隱蔽工程- - 給排水工藝

潔凈廠房內的生產工藝對環境有較高的要求,需要對其生產車間的空氣懸浮粒子濃度進行控制,同時,還需保證一定的溫度、濕度和壓力,為此,除了合理的工藝布局,恰當的室內裝修，配套的安裝工程設計亦至關重要,給排水工程設計就是其中一個重要的環節,現筆者結合多年藥廠給排水設計及施工現場服務經驗,談談凈化工程內的給排水設計。


1、 系統的布置

為保證生產水質不被其它給水系統污染,潔凈廠房內的給水系統按照生產、生活、消防等用途不同,應分別設置,其中,生產用水又可按生產線的數量,分別布置,建議每條生產線給水系統的起端均設置檢修閥門及計量水表,以便檢修和成本核算。 另外,考慮到潔凈廠房中的生產工藝技術發展迅速,產品升級換代快,生產工藝變化多等特點,在管道設計中應留有充分的余量。

 
2、  管材的選用

潔凈廠房的生產給水管傳統的管材,一般采用鍍鋅鋼管,考慮到潔凈環境下,所選管材應有較好的化學穩定性,以保證水質在輸送過程中下降最小;以及管道的內外壁應盡量光潔,管道及管件的接頭處應有較好的平整度,以保證水流有較好的水力性能,以及降低微粒的沉積和微生物的繁殖,建議潔凈廠房給水管材采用聚丙烯(PP)管或不銹鋼管。

排水管材的選擇,應針對排水的水質特點選用,一般原則是:在連續排水溫度低于 40℃時,選用聚氯乙烯(UPVC)排水管,該管材具有化學穩定性強,水力性能好的優點;在連續排水溫度介于 40～80℃時,建議采用既具有較高耐溫性能,又有較好水力性能及化學穩定性的璃纖增強聚丙烯排水管;連續排水溫度高于 80℃時,采用排水鑄鐵管,但應注意防腐處理。

 

3、 管道的敷設

潔凈廠房內管道的敷設方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度,因此管道應盡量在潔凈室外

敷設,最大限度地減少潔凈室內的管道,通常是各種給排水干管布置在技術夾層、技術豎井、地溝管槽內或直接地下埋設,特別是有上下夾層的潔凈廠房,給排水干管大都設在下夾層內。對于穿過潔凈室無法暗裝的給排水立管及消防栓,應盡量在凈化區墻角處敷設,并應采用彩鋼板包嵌,陰陽角均做成圓弧角,以免積灰。為防止潔凈室外未凈化空氣滲入室內,同時也為了防止潔凈室內的潔凈空氣向外滲漏,造成能量的浪費,甚至影響室內的潔凈度,給排水管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時,應設套管,套管內管段不得有接頭,管道和套管之間必須用不起塵的密封材料封閉。 在實在無法做套管的部位,必須采取嚴格的密封措施,主要的密封方法有微孔海綿、有機硅橡膠、橡膠圈及環氧樹脂冷膠等。


4、衛生設備的設置

 
手是交叉污染的媒介,工作人員在接觸工作服之前應洗手,洗手的龍頭不應直接用手開啟,可采用感應式或肘式洗手龍頭。 洗凈的手不可用普通毛巾擦抹,因為普通毛巾易產生纖維塵,最好的辦法是熱風吹干,所以洗手室不但要設置洗手盆,而且還需設置烘手器。潔凈區內設置廁所不僅容易使潔凈室受到污染,還會影響潔凈區的壓力控制,所以有空氣潔凈度要求的生產區內不宜設廁所。 廁所宜設在盥洗室之前,且廁所應有前室,前室還應設置供人員入廁穿用的套鞋。 廁所內衛生潔具為便于沖洗,還應采用白陶瓷制品,不得用水磨石或水泥制作。
 

5、排水設備附件及小型排水構筑物

對于跨度較大的潔凈廠房,其生產排水橫管往往較長,超過了規范允許的最大長度,為了清通方便,往往在排水橫管上,每隔一定距離設一清掃口,清掃口盡量設在非凈化區,如不能避免要在凈化區設置,清掃口要選用易清潔的全銅制品。 潔凈室盡量不設地漏,若工藝需要設置,亦盡量少設,且應選用材質不易腐蝕,內表面光潔,不易結垢,有密封蓋,開啟方便,能防止廢水廢氣倒灌的潔凈地漏。另外,為了順利收集排水,保持地面清潔,地漏的頂面標高應低于周圍地面 5～10mm。

為了防止通風系統正常工作時,室內潔凈空氣通過排水管向外滲漏;而當通風系統停止工作時,室外非潔凈空氣向室內倒灌,影響潔凈室的潔凈度、溫濕度,并消耗潔凈室的能量,與排水管相連的各個排水點均應設水封裝置,水封深度不得小于 50mm 。 這是維持潔凈室內各項技術指標的一個重要措施。為了進一步防止這一現象的發生,同時也為防蟲防鼠,潔凈區排水出戶管末端在接到室外檢查井之前,往往還增設水封井。


6、 循環水系統

為了保護水資源以及降低生產成本,用于生產設備的冷卻水,其使用前后,除了出水水溫有了較大的提高,水質變化不大,經冷卻塔降溫處理后,可重復使用。 需要指出的是,由于循環冷卻水在循環過程中會產生蒸發、 風吹等水量損失,造成了水的濃縮,含鹽量增加,直至沉積;以及水中微生物繁殖和塵埃懸浮物、 腐蝕剝落物及其它雜質,形成沉積物,為提高設備熱交換率及延長設備壽命,循環冷卻水需進行水質處理。



二、安裝管理程序


1 無塵車間潔凈室施工管理制度
 

1．1 背景

1．1．1 半導體制造業必須在潔凈的環境中進行，在施工中必須遵循行業規則和程序。本文件列出了這些規則和程序的概要。 為了保證項目的成功， 現場的每一位人員都必須遵守。

1．1．2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。

1．1．3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規定的原則進行管理。

 

1．2 責任與義務

 

1．2．1 所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓和訓練。 被分配到潔凈建設區域的每位工人有責任和義務理解并遵守潔凈建設規則和程序。

1．2．2 承包商負責執行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區域進行檢查，并填寫檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責提供每日執行潔凈規則和程序的人員和設備。

1．2．3 承包商建造區域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。 他將對在潔凈區域工作的人員進行培訓， 并維護被允許在此區域工作的人員身份認定和管理。

1．2．4 開始階段，承包商應在每個入口處安排人員（除非半導體公司在該入口處安排有人員）以確保本規則和程序的執行。

1．2．5 重復違反規則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執行本規則和程序的供應商將被除名。



三、設備安裝
 

凈化設備

1、風淋室

風淋室是現代工業潔凈廠房中必不可少的潔凈配套設備， 它能去除人和物表面的塵埃， 同時又對風淋室兩側的潔凈區和非潔凈區起到了緩沖與隔離的作用。該設備廣泛應用于食品、 醫藥、生物工程及精密電子等領域。風淋室分為“普通型和聯鎖型”兩類：普通型采用手動啟動吹淋的控制方式，個別操作者會選擇“不經過吹淋就離開”的逃避方式。這使得潔凈區的空氣潔凈度難以保證。甚至可能會影響到產品質量。潔凈室內，在動態情況下，細菌及塵埃的最大發生源是操作者， 當操作者進入潔凈室之前， 必須用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著的塵埃顆粒

 

 

2、高效送風口

本產品為萬級，十萬級亂流潔凈室新建，改建工程凈化空調系統終端送風裝置?？蓮V泛應用與電子工業，精密機械，冶金，化工等工業及醫療，制藥，食品等部門的凈化空調系統。 本裝置主要由靜壓箱，高效過濾器，鋁合金擴散板，標準法蘭接口等組成，造型美觀，結構簡單，使用可靠。 本送風口為下裝式，具有在潔凈室內安裝和更換過濾器方便的優點，高效過濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置，確保風口安裝無泄露，密封可靠，凈化效果好
 

3、傳遞窗
 

傳遞窗主要適用于潔凈區與非潔凈區之間， 或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞， 可有效的減少潔凈室門的開啟次數，把潔凈區的污染減少的最低程度。根據使用要求，傳遞窗箱體表面可噴塑，內膽可用不銹鋼，外表美。

 

4、潔凈工作臺

無塵車間內的潔凈工作臺可根據產品要求或其他用途的要求， 在操作臺上保持高潔凈度的局部凈化。潔凈工作臺可以在操作臺的局部空間形成無菌、無塵的局部凈化，其主要組成部件有預過濾器、高效過濾器、風機機組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。無塵車間的潔凈工作臺的構造要求：臺面，采用木質塑料貼面貼于層壓板上做成臺面，或采用不銹鋼做臺面； 箱體， 用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形， 可采用冷軋薄板折邊搭接， 大電流電焊，內表面需粘貼消聲材料，最大尺寸應以通過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封膠密封；操作區截面應盡可能與空氣過濾器送風截面相同，盡量減少盲區；風機、電機， 選用高壓低噪的小型風機，風機與箱體的連接采用軟連接，電機及風機均應采取減振措施； 燈罩，日光燈要盡量設置在燈罩內，燈罩內要通過潔凈氣流；預過濾器，須設置預過濾器， 容量要大，在使用風量下，初阻力宜小于 50Pa；高效過濾器，盡量采用大面積的過濾器，減少空氣過濾器的數量，過濾器與框架之間的密封應采用封導結合的雙環密封系統。


5、FFU  風機過濾單元

FFU 為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風機濾器單元（機組）”，也稱空氣過濾單元。 風機從 FFU 頂部將空氣吸入并經初、 高效過濾器過濾， 它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、 微環境提供高質量的潔凈空氣。 各凈化工程企業的 FFU 執行標準略有不同，業內通行的指標為：過濾后的潔凈空氣在整個出風面以 0.45M/S±20%的風速勻速送出，但穩定性差距很大。經過實地檢測，國際品牌普遍難以適應“中國環境因素”， 質量雖然普遍高于國產公司， 但 1 年后的穩定性測試普遍不理想； 而大部分國內低端品牌的工程質量也較差強人意。 凈化工程行業開始注重產品質量與穩定性的雙向驗收標準， 并逐步以實地檢測數據（之前多依靠行業報告）更真實的體現工程性價比.



6、層流罩

層流罩一種可提供局部高清潔環境的空氣凈化設備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。阻尼層，燈具等組成，箱體噴塑或采用不銹鋼材料。該產品即可以懸掛，又可地面支撐，結構緊湊，使用方便?？梢詥蝹€使用，也可多個聯接組成帶狀潔凈區域。
   

四、安裝地面工程
 

地面工程

1》PVC 地板

施工工藝：

1、清理地面，清除浮沉，定位鋪設基準線

2、鋪拉接地倒網(銅箔)，涂刷導電膠

3、 鋪貼 PVC 地板，滾壓 PVC 地板

4、開 4mm 靜電接地.適用場所: 電子廠，半導體廠，光電產業，包裝品，機電房、汽車工業等 02 防靜電 PVC 地板 。

 

2》 高架地板

施工工藝:

1、在清潔的地面上劃線

2、支架橫梁裝配

3、調整橫梁水平、緊固螺釘

4、 鋪設活動地板

5、 施工完畢后清掃地板表面

適用場所: 電子廠，半導體廠，光電產業，機電房.恒溫恒室實驗室，百級無塵車間潔凈廠房等



3》 環氧樹脂自流平型地流

施工工藝:

1、打磨地面.清掃、吸塵

2、涂刷封閉底涂

3、刮膩子(中涂)

4、打磨、吸塵

5、自流平面

適用場所: 電子廠，電器廠，食品廠，化妝品廠，包裝廠，紡織廠，服裝廠等

 

4》 環氧樹脂防靜電自流平型

施工工藝：

1. 基材處理：打磨并清潔地面，要求基材干燥、無空鼓；

2.底涂涂裝：導電底涂涂裝；

3. 鋪設銅箔：橫豎交叉鋪設；

4、中涂涂裝：根據所落地面厚度鑷防靜電中涂；

5、面涂涂裝：鑊圖環氛防靜電自流平面漆。

適用場所: 適用于通訊設備制造廠、芯片制造廠、S 下 M 車間、光學儀器廠、實驗室等有較高防靜電要求的潔凈廠房。